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三氟化氯ClF₃

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品牌: 特种气体深圳金谷气体
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所在地: 广东 深圳市
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最后更新: 2020-05-22 16:27
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公司基本资料信息
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三氟化氯(chlorine trifluoride)是无机化合物 ,分子式为ClF,分子量为92.45。有毒,有强腐蚀性,常温下为无色气体,降温变为绿色液体。可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。中文名三氟化氯英文名chlorine trifluoride化学式ClF3分子量92.45CAS登录号7990-91-2EINECS登录号232-230-4熔    点-76.3℃沸    点11.3℃密    度相对密度1.825      -78℃时为2.026外    观无色气体或绿色液体应    用用作氟化剂,燃烧剂,推进剂中的氧化物,高温金属的切割油等。(1)ClF3主要用来生产六氟化铀(UF6),以及核燃料加工和后期处理,主要反应方程式:U + 3 ClF3→ UF6+ 3 ClF(2)在半导体工业中,三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。与其它代替的清洁剂不同,三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化,因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。
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